什麼是ULPA濾網
可捕集比HEPA濾網更微細粒子的高性能空氣濾網。用於高潔淨度無塵室的天花板。
日文名稱: ULPAフィルタ
這個名詞所屬的領域: 無塵室與製造設備
相關名詞
下降氣流 氣態分子汙染(AMC) 微環境 EFEM(設備前端模組) FFU(風扇過濾機組) FOUP HEPA濾網 ISO 14644-1 OHT(天車式無人搬運車)
可捕集比HEPA濾網更微細粒子的高性能空氣濾網。用於高潔淨度無塵室的天花板。
日文名稱: ULPAフィルタ
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