什麼是化學放大型光阻

曝光產生的酸在曝光後烘烤（PEB）中作為催化劑，使反應連鎖進行的光阻。以少量曝光劑量即可感光，廣泛用於KrF之後的曝光。對鹼性汙染敏感。

日文名稱: 化学増幅型レジスト

這個名詞所屬的領域: 微影