微影
KrF準分子雷射曝光所使用的光，其波長為下列何者？
- A約13.5 nm
- B約193 nm
- C約248 nm
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正確答案：C. 約248 nm
KrF（氟化氪）準分子雷射的波長約為248 nm，從0.25 µm世代（1990年代後半）開始使用，並隨著化學放大型光阻而普及。準分子雷射是從稀有氣體與鹵素的激發態分子（準分子，excimer）發出強烈紫外線的光源。之後波長朝ArF（193 nm）、EUV（13.5 nm）縮短，但KrF目前仍廣泛用於不太要求精度的層與部分記憶體。
- A. 約13.5 nm是EUV的波長。
- B. 約193 nm是ArF準分子雷射的波長。
- C. 正確。KrF約為248 nm。