製程材料（氣體與藥液）
關於廣泛用於g線、i線曝光的正型光阻之主要構成，下列何者正確？
- A聚乙烯與鹽
- B金屬粉末與水
- C酚醛樹脂與重氮萘醌（DNQ）系感光劑
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正確答案：C. 酚醛樹脂與重氮萘醌（DNQ）系感光劑
g線、i線用的正型光阻，是在可溶於鹼的酚醛樹脂（novolac）中混入會阻礙其溶解的重氮萘醌（DNQ）系感光劑。光照射後，DNQ會分解並轉變成羧酸，反而幫助溶於鹼，因此曝光的部分在顯影時會被溶解。酚醛樹脂對比KrF更短波長的光吸收強烈，因此在KrF或ArF中被化學增幅型光阻取代。
- A. 不是聚乙烯與鹽。
- B. 不是金屬粉與水。
- C. 正確。是酚醛樹脂與DNQ系感光劑。