什麼是奈米壓印微影

將帶有微細圖案的模具壓在晶圓上的光阻，以轉印圖案的技術。無需昂貴的光學系統即可製作微細圖案。

日文名稱: ナノインプリントリソグラフィ

這個名詞所屬的領域: 微影