塗在光阻下方的抗反射膜（BARC）的主要目的是下列何者？

正確答案：B. 抑制來自底層的反射光所造成的光阻內駐波與尺寸變異

曝光的光穿過光阻後若在底層反射，會與入射光干涉，在光阻內形成駐波（縱向條紋）；光阻厚度的些微差異會使吸收的光量週期性改變而造成尺寸變異（擺動曲線，swing curve）；而在底層高低差處斜向反射的光則會使圖案變細。BARC是有機或無機的吸收膜，可將來自底層的反射抑制在1%以下，提高尺寸的精度。