XPS(X線光電子分光法)란?
えっくすぴーえす
X線を照射して放出される光電子のエネルギーから、表面の数nmに含まれる元素と、その化学結合の状態を調べる分析法。
일본어 명칭: XPS(X線光電子分光法)
분야: 계측과 분석
관련 용어
四探針法 欠陥検査装置 AFM(原子間力顕微鏡) CD-SEM EDX(エネルギー分散型X線分光) FIB(集束イオンビーム) SEM(走査電子顕微鏡) SIMS(二次イオン質量分析法) TEM(透過電子顕微鏡) TXRF(全反射蛍光X線分析)
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X線を照射して放出される光電子のエネルギーから、表面の数nmに含まれる元素と、その化学結合の状態を調べる分析法。
일본어 명칭: XPS(X線光電子分光法)
분야: 계측과 분석
四探針法 欠陥検査装置 AFM(原子間力顕微鏡) CD-SEM EDX(エネルギー分散型X線分光) FIB(集束イオンビーム) SEM(走査電子顕微鏡) SIMS(二次イオン質量分析法) TEM(透過電子顕微鏡) TXRF(全反射蛍光X線分析)