真空蒸着とは
しんくうじょうちゃく
真空中で材料を加熱して蒸発させ、基板に付着させて膜をつくる方法。電子ビームで加熱すれば高融点の材料も扱えるが、段差被覆性は低い。
この用語の分野: 成膜(CVD・PVD)
解説の中の「真空蒸着」
真空蒸着は、抵抗加熱や電子ビームで材料を加熱して蒸発させ、10⁻⁴ Pa程度以下の真空中を飛んだ原子を基板に付着させるPVDです。
真空蒸着の説明として正しいものはどれか。
「真空蒸着」が出てくる問題(3問)
関連する用語
スパッタリング HDP-CVD(高密度プラズマCVD) ALD LPCVD(減圧CVD) CVD ステップカバレッジ スピンコート 静電チャック TEOS 電解めっき