静電チャックとは
せいでんちゃっく
静電気力でウエハを台に吸着して固定する機構。真空中でも使え、ウエハの温度を制御するために裏面にガスを流すこともできる。成膜やエッチングの装置で広く使われる。
この用語の分野: 成膜(CVD・PVD)
解説の中の「静電チャック」
また温度によって損傷の回復の度合い(アモルファス化のしやすさ)が変わるため、ウエハを静電チャックで冷却して温度を管理します。
大電流のイオン注入中にウエハを冷却する主な理由はどれか。静電チャックは、セラミックの台の内部の電極に数百V〜数kVの電圧をかけ、ウエハとの間にはたらく静電気力で吸着・固定します。
成膜やエッチングの装置で、ウエハを静電気力で台に固定する機構はどれか。
「静電チャック」が出てくる問題(2問)
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