EDX(エネルギー分散型X線分光)란?
いーでぃーえっくす
電子線を当てたときに試料から出る特性X線のエネルギーを測り、含まれる元素の種類と量を調べる分析法。SEMやTEMと組み合わせて使う。
일본어 명칭: EDX(エネルギー分散型X線分光)
분야: 계측과 분석
관련 용어
四探針法 欠陥検査装置 AFM(原子間力顕微鏡) CD-SEM FIB(集束イオンビーム) SEM(走査電子顕微鏡) SIMS(二次イオン質量分析法) TEM(透過電子顕微鏡) TXRF(全反射蛍光X線分析) XPS(X線光電子分光法)