ディッシングとは
でぃっしんぐ
CMPで、幅の広い金属配線の中央部が皿のようにくぼんで削れすぎる現象。
この用語の分野: CMP・洗浄
解説の中の「ディッシング」
ディッシングは、幅の広い金属配線やパッドで、柔らかい金属の中央部が周囲の絶縁膜より多く削られ、皿(dish)のようにくぼむ現象で、幅が広いほど大きくなります。
CMPで発生する「ディッシング」の説明として正しいものはどれか。
「ディッシング」が出てくる問題(1問)
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