ディッシング란?
でぃっしんぐ
CMPで、幅の広い金属配線の中央部が皿のようにくぼんで削れすぎる現象。
일본어 명칭: ディッシング
분야: CMP와 세정
관련 용어
枚葉式洗浄 自然酸化膜 希フッ酸(DHF) CMP RCA洗浄 SC-1(APM) SC-2(HPM) SPM(硫酸過水) エロージョン スラリー
でぃっしんぐ
CMPで、幅の広い金属配線の中央部が皿のようにくぼんで削れすぎる現象。
일본어 명칭: ディッシング
분야: CMP와 세정
枚葉式洗浄 自然酸化膜 希フッ酸(DHF) CMP RCA洗浄 SC-1(APM) SC-2(HPM) SPM(硫酸過水) エロージョン スラリー