SC-1(APM)とは

解説の中の「SC-1(APM)」

• SC-1(NH4OH:H2O2:H2O、例えば1:1:5、約70 ℃)は、過酸化水素で表面を酸化しながら、アンモニアでその酸化膜を毎分0.1〜1 nm程度ゆっくり溶かすことで、パーティクルを下から浮かせて除去します。

  RCA洗浄で使われるSC-1(アンモニア・過酸化水素水の混合液)の主な目的はどれか。

• SC-1がパーティクル除去に効果的な理由の一つです。

  SC-1のようなアルカリ性の洗浄液で、いったん離れたパーティクルが再付着しにくい理由として正しいものはどれか。

• RCA洗浄は1970年にRCA社のカーンらが発表した方法で、まずアルカリ性のSC-1でパーティクルや有機物を除去し、次に酸性のSC-2(HCl:H2O2:H2O)で、SC-1で付着しやすい金属汚染を塩化物として溶かして除去するのが基本的な順序です。

  標準的なRCA洗浄におけるSC-1とSC-2の順序と目的の組み合わせとして正しいものはどれか。

「SC-1(APM)」が出てくる問題(7問)

1. RCA洗浄で使われるSC-1(アンモニア・過酸化水素水の混合液)の主な目的はどれか。
2. SC-1のようなアルカリ性の洗浄液で、いったん離れたパーティクルが再付着しにくい理由として正しいものはどれか。
3. 標準的なRCA洗浄におけるSC-1とSC-2の順序と目的の組み合わせとして正しいものはどれか。
4. SC-1(アンモニア・過酸化水素水の混合液)の中で、過酸化水素が果たす役割として正しいものはどれか。
5. 希フッ酸(DHF)による洗浄の主な目的はどれか。
6. MHz帯の超音波を洗浄液に加えて、ウエハ表面の微小なパーティクルを除去する洗浄方法はどれか。
7. 洗浄で取り除く対象となるウエハ表面の汚染の種類の組み合わせとして正しいものはどれか。

関連する用語

SC-2(HPM) 希フッ酸(DHF) 自然酸化膜 RCA洗浄 超純水 シリサイド メガソニック洗浄 SPM(硫酸過水) エロージョン CMP