SC-2(HPM)とは
えすしーつー
塩酸と過酸化水素水と水の混合液。RCA洗浄でSC-1のあとに使い、金属汚染を除去する。
この用語の分野: CMP・洗浄
解説の中の「SC-2(HPM)」
RCA洗浄は1970年にRCA社のカーンらが発表した方法で、まずアルカリ性のSC-1でパーティクルや有機物を除去し、次に酸性のSC-2(HCl:H2O2:H2O)で、SC-1で付着しやすい金属汚染を塩化物として溶かして除去するのが基本的な順序です。
標準的なRCA洗浄におけるSC-1とSC-2の順序と目的の組み合わせとして正しいものはどれか。金属汚染の除去にはSC-2、自然酸化膜の除去には希フッ酸を使います。
RCA洗浄で使われるSC-1(アンモニア・過酸化水素水の混合液)の主な目的はどれか。有機物やパーティクルの除去にはSC-1、金属汚染の除去にはSC-2が使われます。
希フッ酸(DHF)による洗浄の主な目的はどれか。
「SC-2(HPM)」が出てくる問題(4問)
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