RCA洗浄とは
あーるしーえーせんじょう
SC-1(アンモニア・過酸化水素水)でパーティクルや有機物を、SC-2(塩酸・過酸化水素水)で金属汚染を除去する洗浄法。
この用語の分野: CMP・洗浄
解説の中の「RCA洗浄」
RCA洗浄は1970年にRCA社のカーンらが発表した方法で、まずアルカリ性のSC-1でパーティクルや有機物を除去し、次に酸性のSC-2(HCl:H2O2:H2O)で、SC-1で付着しやすい金属汚染を塩化物として溶かして除去するのが基本的な順序です。
標準的なRCA洗浄におけるSC-1とSC-2の順序と目的の組み合わせとして正しいものはどれか。
「RCA洗浄」が出てくる問題(2問)
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