終点検出とは
しゅうてんけんしゅつ
エッチングなどで、目的の膜を削り終えた時点を検出すること。プラズマの発光スペクトルの変化を監視する方法がよく使われる。
この用語の分野: エッチング
解説の中の「終点検出」
装置ではこの時間と終点検出を組み合わせて管理します。
エッチング速度が100 nm/minの条件で3分間エッチングしたとき、削れる膜の厚さはいくらか。
「終点検出」が出てくる問題(2問)
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