洗浄で取り除く対象となるウエハ表面の汚染の種類の組み合わせとして正しいものはどれか。

正解：C. パーティクル・金属汚染・有機物汚染・自然酸化膜など

洗浄で除去する汚染には、微小な粒子(パーティクル)、鉄や銅などの金属汚染、レジストの残りや空気中から付着する有機物、不要な自然酸化膜などがあります。それぞれに適した薬液を組み合わせて取り除きます。

• A. 光・音・熱は汚染ではありません。
• B. キャリアや意図して入れた不純物は洗浄の対象ではありません。
• C. 正しい。パーティクル・金属・有機物・自然酸化膜などです。