バッファードフッ酸(BHF)とは
ばっふぁーどふっさん
フッ酸をフッ化アンモニウムで緩衝した薬液。SiO2のウェットエッチングに使われ、エッチング速度が安定し、レジストへのダメージも少ない。
この用語の分野: エッチング
解説の中の「バッファードフッ酸(BHF)」
バッファードフッ酸は、フッ酸にフッ化アンモニウムを加えてpHを安定させた液で、酸化膜を溶かす主な成分(HF2⁻)の濃度が液の消耗によって変わりにくく、エッチング速度が安定し、レジストもはがれにくいという特徴があります。
SiO2のウェットエッチングに使われる、フッ酸をフッ化アンモニウムで緩衝した液はどれか。
「バッファードフッ酸(BHF)」が出てくる問題(1問)
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