同じ希フッ酸でエッチングしたとき、熱酸化膜とCVDで成膜した酸化膜のエッチング速度の一般的な関係として正しいものはどれか。

正解：A. 熱酸化膜の方が遅い(緻密である)

熱酸化膜は緻密で欠陥が少ないため、フッ酸でのエッチング速度が遅くなります。CVD酸化膜は成膜条件によって密度が低かったり水素などを含んだりするため、一般にエッチング速度が速くなります。熱酸化膜に対するエッチング速度の比は、膜質の目安として使われます。