CMP・洗浄

標準的なRCA洗浄におけるSC-1とSC-2の順序と目的の組み合わせとして正しいものはどれか。

  1. ASC-1でパーティクルや有機物を除去したあと、SC-2で金属汚染を除去する
  2. BSC-2でパーティクルを除去したあと、SC-1で金属汚染を除去する
  3. CSC-1とSC-2を混ぜて同時に使う
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正解：A. SC-1でパーティクルや有機物を除去したあと、SC-2で金属汚染を除去する

RCA洗浄では、まずアルカリ性のSC-1でパーティクルや有機物を除去し、次に酸性のSC-2で金属汚染を除去するのが基本的な順序です。必要に応じて、間に希フッ酸で酸化膜を除去する工程を入れます。各工程の間には純水でのリンスを行います。

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