Méthode de fabrication d'un monocristal consistant à plonger un germe dans du silicium fondu en creuset, puis à le tirer vers le haut en le faisant tourner.
Nom japonais: CZ法(チョクラルスキー法)
« Méthode CZ (Czochralski) » apparaît dans 10 questions d'entraînement réparties sur 1 thèmes, dont Plaquettes de silicium.
Domaine: Plaquettes de silicium
Réponse : B. L'oxygène
Dans la méthode CZ, le silicium est fondu dans un creuset en quartz (SiO2), et l'oxygène dissous depuis le creuset est incorporé dans le cristal à environ 10¹⁸ cm⁻³. L'oxygène ancre les dislocations et améliore la résistance mécanique du cristal, et les précipités formés par traitement thermique servent de sites de gettering ; en excès, il provoque cependant des défauts et des donneurs thermiques. Sa concentration est donc contrôlée, par exemple par la méthode MCZ qui applique un champ magnétique pour freiner la convection, et spécifiée selon l'application.
Réponse : A. Contrôler le type et la quantité de défauts ponctuels (lacunes ou silicium interstitiel) incorporés dans le cristal afin de réduire les défauts cristallins
Le rapport entre la vitesse de tirage V et le gradient de température G près de l'interface détermine si les défauts ponctuels incorporés en excès dans le cristal sont des lacunes ou du silicium interstitiel. Avec un V/G élevé, les lacunes en excès s'agglomèrent en microcavités (COP) ; avec un V/G faible, le silicium interstitiel en excès forme des boucles de dislocation. Un tirage dans l'étroite fenêtre où les deux s'équilibrent donne un cristal quasiment exempt de ces deux types de défauts (cristal parfait, silicium parfait).
Dans la méthode CZ, le silicium est fondu dans un creuset en quartz (SiO2), et l'oxygène dissous depuis le creuset est incorporé dans le cristal à environ 10¹⁸ cm⁻³.
Quelle impureté provenant du creuset est incorporée en quan…Dans la méthode CZ, un germe est plongé dans du silicium fondu à plus d'environ 1420 ℃ dans un creuset en quartz, puis tiré lentement en rotation à une vitesse de quelques cm par heure, pour obtenir un lingot monocristallin d'environ 300 mm de diamètre, 2 m de long et plusieurs centaines de kg.
Quelle est la méthode la plus utilisée pour fabriquer le si…On obtient ainsi du silicium polycristallin de pureté 11N (99.999999999 %), matière première de la méthode CZ, etc.
Quelle est la méthode représentative de fabrication du sili…Dans la méthode CZ, l'anneau lumineux (ménisque) formé à l'interface cristal-bain est surveillé par caméra ; le diamètre est déduit de son rayon, et la vitesse de tirage et la puissance de chauffage (température du bain) sont ajustées automatiquement pour maintenir un diamètre constant.
Quels paramètres sont principalement ajustés pendant le tir…Dans la méthode CZ, le germe et le creuset tournent en sens inverse pendant le tirage afin d'uniformiser la distribution de température dans le sens de rotation ; le lingot est donc cylindrique.
Quelle est la raison principale de la forme circulaire des …Lingot Getter (gettering) Donneurs thermiques Méthode MCZ (Czochralski sous champ magnétique) RIE (gravure ionique réactive) Coefficient de ségrégation Rugosité de bord de ligne (LER) Découpe (dicing) Absorption (perte de chiffres) Procédé Siemens