Plaquettes de silicium

Quels paramètres sont principalement ajustés pendant le tirage pour maintenir constant le diamètre d'un lingot de silicium monocristallin ?

  1. ALa vitesse de tirage et la température du bain
  2. BLa couleur du lingot
  3. CL'intensité de l'éclairage de l'usine
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Réponse : A. La vitesse de tirage et la température du bain

Dans la méthode CZ, l'anneau lumineux (ménisque) formé à l'interface cristal-bain est surveillé par caméra ; le diamètre est déduit de son rayon, et la vitesse de tirage et la puissance de chauffage (température du bain) sont ajustées automatiquement pour maintenir un diamètre constant. Un tirage rapide amincit le cristal, un tirage lent l'épaissit. La vitesse de tirage influençant aussi, via V/G, le type de défauts ponctuels incorporés, un contrôle précis tenant compte à la fois du diamètre et des défauts est nécessaire.

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