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Plaquettes de silicium

Quelle impureté provenant du creuset est incorporée en quantité relativement importante dans le silicium tiré par la méthode CZ ?

  1. AL'or
  2. BL'oxygène
  3. CL'hélium
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Réponse : B. L'oxygène

Dans la méthode CZ, le silicium est fondu dans un creuset en quartz (SiO2), et l'oxygène dissous depuis le creuset est incorporé dans le cristal à environ 10¹⁸ cm⁻³. L'oxygène ancre les dislocations et améliore la résistance mécanique du cristal, et les précipités formés par traitement thermique servent de sites de gettering ; en excès, il provoque cependant des défauts et des donneurs thermiques. Sa concentration est donc contrôlée, par exemple par la méthode MCZ qui applique un champ magnétique pour freiner la convection, et spécifiée selon l'application.

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