Plaquettes de silicium
Quelle méthode applique un champ magnétique au creuset de la méthode CZ pour freiner la convection du bain et contrôler notamment la concentration d'oxygène ?
- AMéthode FZ
- BMéthode MCZ (CZ sous champ magnétique)
- CMéthode de Bridgman
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Réponse : B. Méthode MCZ (CZ sous champ magnétique)
Le silicium fondu étant conducteur, l'application d'un champ magnétique exerce sur le bain en mouvement une force opposée (force de Lorentz) qui freine la convection. La méthode MCZ permet ainsi de limiter l'incorporation dans le cristal de l'oxygène dissous depuis le creuset, ou de réduire les fluctuations de température pour limiter les stries de croissance et améliorer l'uniformité du cristal. Pour les cristaux de 300 mm, dont le bain atteint plusieurs centaines de kg et où la convection est intense, la MCZ à champ transversal est la norme.