Plaquettes de silicium
Quel dopant est typiquement ajouté au bain fondu pour obtenir du silicium de type p par la méthode CZ ?
- APhosphore (P)
- BArsenic (As)
- CBore (B)
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Réponse : C. Bore (B)
Pour obtenir du type p, on ajoute au bain du bore, élément du groupe III. Le bore a un coefficient de ségrégation d'environ 0.8, proche de 1, de sorte que sa concentration est relativement uniforme entre le haut et le bas du lingot, ce qui en fait un dopant facile à utiliser. Pour le type n, on utilise des éléments du groupe V comme le phosphore, l'arsenic ou l'antimoine. La résistivité du cristal est déterminée par la quantité ajoutée ; pour les LSI, on utilise surtout du type p d'environ 1 à 20 Ω·cm.