Plaquettes de silicium
Comment appelle-t-on le bloc cylindrique de silicium monocristallin obtenu par la méthode CZ, etc., avant sa découpe en wafers ?
- ACible
- BLingot
- CPastille
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Réponse : B. Lingot
Le bloc cylindrique obtenu par tirage d'un monocristal est appelé lingot. Il comporte en haut une épaule issue du germe et en bas une queue rétrécie ; seule la partie intermédiaire de diamètre constant (corps) devient produit. La périphérie du lingot est rectifiée pour calibrer le diamètre, l'encoche est usinée, puis le lingot est découpé en tranches fines pour former les wafers. La résistivité et la concentration d'oxygène sont mesurées afin de sélectionner les parties conformes à la spécification.