Qu'est-ce que Rugosité de bord de ligne (LER) ?

Réponse : A. Limiter le courant de fuite par perçage (punch-through) passant sous l'ailette

Dans un FinFET massif, la partie basse de l'ailette n'étant pas entourée par la grille, le courant fuit facilement entre source et drain. Une couche fortement dopée de type opposé au canal (stoppeur de perçage) placée près du pied de l'ailette limite la fuite par ce chemin. Comme on ne veut pas doper le canal, contrôler une implantation abrupte limitée à cette faible profondeur est délicat. Un substrat SOI permettrait une isolation par l'oxyde, mais les plaquettes sont coûteuses.

Réponse : C. Parce que la longueur d'onde de résonance se décale facilement avec la température et les variations de fabrication, et qu'il faut l'ajuster à la longueur d'onde utilisée

La variation de l'indice du silicium avec la température (coefficient thermo-optique, environ 1,8×10⁻⁴ /K) est importante : la longueur d'onde de résonance d'un résonateur en anneau en bande C se décale d'environ 0,07 à 0,08 nm par °C vers les grandes longueurs d'onde. La largeur de résonance est souvent étroite, de l'ordre de 0,1 à 0,3 nm, si bien qu'une variation de quelques °C suffit à s'écarter de la longueur d'onde utilisée. Une différence de quelques nm seulement sur la largeur ou l'épaisseur du guide peut aussi décaler la résonance de quelques nm. On élève donc la température avec l'élément chauffant pour aligner la résonance sur la longueur d'onde du laser, et l'on régule en surveillant l'état du dispositif. L'augmentation de la puissance consommée par les éléments chauffants est l'un des défis de l'utilisation des anneaux.