Variante de la méthode CZ appliquant un champ magnétique au creuset pour freiner la convection du bain. Elle facilite le contrôle de la concentration d'oxygène incorporé et est utilisée pour les cristaux de grand diamètre.
Nom japonais: MCZ法(磁場印加CZ法)
« Méthode MCZ (Czochralski sous champ magnétique) » apparaît dans 3 questions d'entraînement réparties sur 1 thèmes, dont Plaquettes de silicium.
Domaine: Plaquettes de silicium
Réponse : B. L'oxygène
Dans la méthode CZ, le silicium est fondu dans un creuset en quartz (SiO2), et l'oxygène dissous depuis le creuset est incorporé dans le cristal à environ 10¹⁸ cm⁻³. L'oxygène ancre les dislocations et améliore la résistance mécanique du cristal, et les précipités formés par traitement thermique servent de sites de gettering ; en excès, il provoque cependant des défauts et des donneurs thermiques. Sa concentration est donc contrôlée, par exemple par la méthode MCZ qui applique un champ magnétique pour freiner la convection, et spécifiée selon l'application.
Réponse : B. Méthode MCZ (CZ sous champ magnétique)
Le silicium fondu étant conducteur, l'application d'un champ magnétique exerce sur le bain en mouvement une force opposée (force de Lorentz) qui freine la convection. La méthode MCZ permet ainsi de limiter l'incorporation dans le cristal de l'oxygène dissous depuis le creuset, ou de réduire les fluctuations de température pour limiter les stries de croissance et améliorer l'uniformité du cristal. Pour les cristaux de 300 mm, dont le bain atteint plusieurs centaines de kg et où la convection est intense, la MCZ à champ transversal est la norme.
Sa concentration est donc contrôlée, par exemple par la méthode MCZ qui applique un champ magnétique pour freiner la convection, et spécifiée selon l'application.
Quelle impureté provenant du creuset est incorporée en quan…La méthode MCZ permet ainsi de limiter l'incorporation dans le cristal de l'oxygène dissous depuis le creuset, ou de réduire les fluctuations de température pour limiter les stries de croissance et améliorer l'uniformité du cristal.
Quelle méthode applique un champ magnétique au creuset de l…Dans le plan du wafer, elles apparaissent comme des motifs concentriques semblables à des cernes de croissance, et peuvent être réduites en freinant la convection par la méthode MCZ.
Dans un cristal CZ, comment appelle-t-on les variations pér…Méthode CZ (Czochralski) Getter (gettering) Donneurs thermiques Rugosité de bord de ligne (LER) Coefficient de ségrégation DZ (zone dénudée) Encoche de plaquette (notch) Glissement (slip) Lingot Méthode FZ (zone flottante)