CZ法(チョクラルスキー法)란?
ちょくらるすきーほう
るつぼで溶かしたシリコンに種結晶を浸し、回転させながら引き上げて単結晶をつくる方法。
일본어 명칭: CZ法(チョクラルスキー法)
분야: 실리콘 웨이퍼
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관련 용어
結晶方位 酸素析出物(BMD) 偏析係数 DZ(無欠陥層) FZ法(フローティングゾーン法) MCZ法(磁場印加CZ法) SOIウエハ インゴット ウエハのノッチ ゲッタリング
ちょくらるすきーほう
るつぼで溶かしたシリコンに種結晶を浸し、回転させながら引き上げて単結晶をつくる方法。
일본어 명칭: CZ法(チョクラルスキー法)
분야: 실리콘 웨이퍼
結晶方位 酸素析出物(BMD) 偏析係数 DZ(無欠陥層) FZ法(フローティングゾーン法) MCZ法(磁場印加CZ法) SOIウエハ インゴット ウエハのノッチ ゲッタリング