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Plaquettes de silicium

Quelle est la raison principale de la forme circulaire des wafers de silicium ?

  1. AElle facilite la disposition des puces carrées
  2. BL'exposition est impossible si le wafer n'est pas circulaire
  3. CLe monocristal étant tiré en rotation, le lingot est cylindrique
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Réponse : C. Le monocristal étant tiré en rotation, le lingot est cylindrique

Dans la méthode CZ, le germe et le creuset tournent en sens inverse pendant le tirage afin d'uniformiser la distribution de température dans le sens de rotation ; le lingot est donc cylindrique. Comme il est découpé en tranches, les wafers sont circulaires. La disposition de puces carrées entraîne une perte de quelques % en périphérie, mais cette forme est retenue en raison du mode de croissance du cristal et des étapes adaptées à une forme circulaire, comme le couchage par centrifugation ou la CMP.

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