Was ist Czochralski-Verfahren (CZ-Verfahren)?

Ein Verfahren zur Herstellung von einkristallinem Silizium, bei dem ein Impfkristall in die Siliziumschmelze im Tiegel getaucht und unter Drehen langsam herausgezogen wird.

Japanische Bezeichnung: CZ法(チョクラルスキー法)

Fachgebiet: Siliziumwafer

Vergleiche mit diesem Begriff

Verwandte Begriffe

DZ (Denuded Zone, defektfreie Zone) FZ-Verfahren (Zonenschmelzen) Gettern (Getterung) Ingot (Kristallblock) Kristallorientierung MCZ-Verfahren (CZ mit Magnetfeld) Monitorwafer Necking (Halsbildung) Sauerstoffausscheidungen (BMD) Segregationskoeffizient

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