HEPAフィルタとULPAフィルタの違い：捕集効率の定義・規格の等級・MPPS・使うクリーンルームを比較
HEPAフィルタとULPAフィルタは、どちらも細いガラス繊維などのろ材をひだ状に折りたたんだ高性能のエアフィルタで、クリーンルームの天井やFFUに取り付けて、空気中の粒子を取り除きます。違いは捕集効率です。日本のJISの用語の定義(JIS Z 8122)では、定格風量でHEPAは粒径0.3 µmの粒子を99.97%以上、ULPAは0.15 µmの粒子を99.9995%以上捕集するものとしています。欧州のEN 1822-1では、最も透過しやすい粒径(MPPS)での効率で等級を分け、H13・H14をHEPA、U15〜U17をULPAとしています。ULPAは粒子をより多く取れる一方、同じ風量では圧力損失と価格が大きくなるため、求める清浄度に合わせて使い分けます。
| 項目 | HEPAフィルタ | ULPAフィルタ |
|---|---|---|
| 名前の意味 | High Efficiency Particulate Air(高性能の粒子用エアフィルタ) | Ultra Low Penetration Air(粒子の透過が極めて少ないエアフィルタ) |
| JISでの定義(JIS Z 8122) | 定格風量で、粒径0.3 µmの粒子を99.97%以上捕集する | 定格風量で、粒径0.15 µmの粒子を99.9995%以上捕集する |
| EN 1822-1の等級(MPPSでの全体の効率) | H13: 99.95%以上、H14: 99.995%以上 | U15: 99.9995%以上、U16: 99.99995%以上、U17: 99.999995%以上 |
| 通り抜ける粒子の割合 | H13で0.05%以下、H14で0.005%以下(1万個に5個、10万個に5個) | U15で0.0005%以下(100万個に5個)。等級が1つ上がるごとに10分の1になる |
| 最も透過しやすい粒径(MPPS) | ろ材によるが、一般に0.1〜0.3 µm程度。これより大きい粒子は慣性やさえぎりで、小さい粒子は拡散で捕まりやすい | 同じ仕組みで、一般に0.1〜0.3 µm程度。ろ材が緻密なぶん、この粒径でも通り抜けが少ない |
| 圧力損失とコスト | 同じ風量なら圧力損失が小さく、ファンの電力と価格を抑えやすい | 同じ風量なら圧力損失が大きくなりやすく、ファンの電力と価格が増える |
| 使うクリーンルームの目安 | ISOクラス5〜8程度のエリア、手術室、製薬工場など。半導体工場でも清浄度を緩めたベイに使う | ISOクラス4以下(より清浄)のエリアや、半導体工場の装置のミニエンバイロメントなど、特に清浄度が求められる場所 |
| 取り除けないもの | アンモニアや有機物などのガス状の分子汚染(AMC)。別にケミカルフィルタが必要 | 同じく、ガス状の分子汚染は取り除けない。ガラス繊維のろ材からのホウ素の放出が問題になる場合は、低ボロンのろ材やPTFEのろ材を使う |
数値は代表的な目安で、世代や製品によって異なります。