HEPAフィルタとは
へぱふぃるた
粒径0.3 µmの粒子を99.97%以上捕集する高性能の空気フィルタ。さらに細かい粒子まで捕集するものがULPAフィルタ。
この用語の分野: クリーンルーム・製造装置
解説の中の「HEPAフィルタ」
HEPAフィルタは、ろ過が最も難しい粒径に近い0.3 µm程度の粒子に対して、99.97%以上の捕集効率をもつフィルタとして定義されます(JISなど)。
HEPAフィルタの性能の一般的な定義として正しいものはどれか。HEPAフィルタやさらに高性能なULPAフィルタは、細かい繊維で空気中の微粒子をとらえるエアフィルタで、クリーンルームの天井などに設置されます。
クリーンルームの空気から微粒子を取り除くために使われる高性能フィルタはどれか。ガラス繊維を使ったHEPAフィルタなどからは、ホウ素を含むガスが放出されることがあり、ウエハ表面に付着してp型の不純物として意図しないドーピングを起こすことがあります。
ガラス繊維のフィルタなどから放出され、ウエハの意図しないドーピング(汚染)の原因になることがある元素はどれか。
「HEPAフィルタ」が出てくる問題(3問)
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