クリーンルーム・製造装置

天井にフィルタとファンを一体化して並べ、清浄な空気を送り出す装置はどれか。

  1. AFFU(ファンフィルタユニット)
  2. BEFEM
  3. COHT
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正解:A. FFU(ファンフィルタユニット)

FFUは、送風ファンとHEPA/ULPAフィルタを一体化したユニットで、クリーンルームの天井に多数並べて、清浄な空気を下向きに吹き出します。ユニットごとに風量を調整でき、レイアウトの変更にも対応しやすいため、広く使われています。

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