クリーンルーム・製造装置 天井にフィルタとファンを一体化して並べ、清浄な空気を送り出す装置はどれか。 AFFU(ファンフィルタユニット) BEFEM COHT 答えと解説を見る 正解:A. FFU(ファンフィルタユニット) FFUは、送風ファンとHEPA/ULPAフィルタを一体化したユニットで、クリーンルームの天井に多数並べて、清浄な空気を下向きに吹き出します。ユニットごとに風量を調整でき、レイアウトの変更にも対応しやすいため、広く使われています。