クリーンルーム・製造装置
HEPAフィルタの性能の一般的な定義として正しいものはどれか。
- A粒径0.3 µmの粒子を99.97%以上捕集する
- B粒径10 µmの粒子を50%以上捕集する
- Cガス状の分子を99.99%以上除去する
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正解：A. 粒径0.3 µmの粒子を99.97%以上捕集する
HEPAフィルタは、ろ過が最も難しい粒径に近い0.3 µm程度の粒子に対して、99.97%以上の捕集効率をもつフィルタとして定義されます(JISなど)。さらに高性能なULPAフィルタは、0.15 µmの粒子に対して99.9995%以上とされます。どちらもガス状の分子は除去できません。
- A. 正しい。0.3 µmで99.97%以上が目安です。
- B. それはごく粗いフィルタの性能です。
- C. HEPAフィルタは粒子をとらえるもので、ガスは除去できません。