クリーンルーム・製造装置

クリーンルームの空気から微粒子を取り除くために使われる高性能フィルタはどれか。

  1. Aローパスフィルタ
  2. Bカラーフィルタ
  3. CULPAフィルタ(HEPAフィルタ)
答えと解説を見る

正解:C. ULPAフィルタ(HEPAフィルタ)

HEPAフィルタやさらに高性能なULPAフィルタは、細かい繊維で空気中の微粒子をとらえるエアフィルタで、クリーンルームの天井などに設置されます。ローパスフィルタは電気回路で高い周波数を除く回路、カラーフィルタはイメージセンサなどで色を分ける部品です。

この分野を解く 分野ページへ

クリーンルーム・製造装置のほかの問題

  1. ウエハの周りの狭い空間だけを高い清浄度に保つ考え方を何と呼ぶか。
  2. クリーンルーム内の気圧を周囲より高く(陽圧に)保つ主な理由はどれか。
  3. クリーンルームでの主要な発塵源の一つで、クリーンスーツの着用で対策するものはどれか。
  4. クリーンルームで、粒子ではなくガス状の汚染物質(酸、アルカリ、有機物など)を指す用語はどれか。
  5. 300 mmウエハの工場で、FOUPを天井のレールに沿って装置間で自動搬送するシステムはどれか。