ISO 14644-1とは
あいえすおー14644-1
クリーンルームの清浄度のクラスを、空気中の粒子の数で定めた国際規格。数字が小さいほど清浄度が高い。
この用語の分野: クリーンルーム・製造装置
あいえすおー14644-1
クリーンルームの清浄度のクラスを、空気中の粒子の数で定めた国際規格。数字が小さいほど清浄度が高い。
この用語の分野: クリーンルーム・製造装置
旧米国連邦規格のクラス100は、ISO 14644-1のクラス5にほぼ相当します。
旧米国連邦規格のクラス100(1立方フィートあたり0.5 µm以上の粒子が100個以下)に相当するISO 14644-…ISO 14644-1では、ISOクラスNのとき、1 m³あたりの0.1 µm以上の粒子の上限が10のN乗個と定められています(ほかの粒径の上限も式で決まります)。
ISO 14644-1の清浄度クラスについて正しい説明はどれか。国際規格ISO 14644-1では、1 m³あたりの粒子数にもとづいてクラス1〜9に分類され、数字が小さいほど清浄です。
クリーンルームの清浄度は、一般に何によって表されるか。EFEM ULPAフィルタ FFU(ファンフィルタユニット) OHT(天井走行式無人搬送車) ダウンフロー FOUP 分子状汚染(AMC) HEPAフィルタ ミニエンバイロメント