ガラス繊維のフィルタなどから放出され、ウエハの意図しないドーピング(汚染)の原因になることがある元素はどれか。

正解：A. ホウ素(ボロン)

ガラス繊維を使ったHEPAフィルタなどからは、ホウ素を含むガスが放出されることがあり、ウエハ表面に付着してp型の不純物として意図しないドーピングを起こすことがあります。そのため、低ボロンのフィルタやケミカルフィルタが使われます。