ミニエンバイロメントとは
みにえんばいろめんと
ウエハの周りの狭い空間だけを高い清浄度に保つ考え方。FOUPなどの密閉容器と装置前面のEFEMを組み合わせ、部屋全体の清浄度の要求を下げてコストを抑える。
この用語の分野: クリーンルーム・製造装置
解説の中の「ミニエンバイロメント」
ミニエンバイロメントの考え方を広め、300 mmのFOUPへと発展しました。
200 mmウエハの時代に普及した、カセットを密閉したポッドに入れて装置に受け渡すミニエンバイロメントの方式はどれか。ウエハは密閉容器と装置のミニエンバイロメントで守られるため、部屋全体の清浄度をそこまで高くしなくて済み、装置の配置換えもしやすくなります。
仕切りの少ない大きな部屋の中に製造装置を並べ、FOUPなどの密閉容器とミニエンバイロメントでウエハの清浄度を確保するク…ミニエンバイロメント方式では、FOUPや装置内部など、ウエハが触れる空間だけを極めて清浄に保ち、人が作業する空間の清浄度は少し緩めます。
ウエハの周りの狭い空間だけを高い清浄度に保つ考え方を何と呼ぶか。
「ミニエンバイロメント」が出てくる問題(3問)
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