分子状汚染(AMC)とは

ぶんしじょうおせん

空気中の酸、アルカリ、有機物などのガス状の汚染物質。粒子用のフィルタでは除けず、ケミカルフィルタで取り除く。

この用語の分野: クリーンルーム・製造装置

解説の中の「分子状汚染(AMC)」

「分子状汚染(AMC)」が出てくる問題(3問)

  1. クリーンルームの空気から、アンモニアや有機物などの分子状汚染(AMC)を取り除くために使われるフィルタはどれか。
  2. 化学増幅型レジストを使う露光エリアで、アンモニアやアミンなどの塩基性の分子状汚染を特に厳しく管理する理由はどれか。
  3. クリーンルームで、粒子ではなくガス状の汚染物質(酸、アルカリ、有機物など)を指す用語はどれか。

関連する用語

化学増幅型レジスト ISO 14644-1 EFEM ULPAフィルタ FFU(ファンフィルタユニット) OHT(天井走行式無人搬送車) ダウンフロー FOUP HEPAフィルタ ミニエンバイロメント

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