クリーンルーム・製造装置

クリーンルームの空気から、アンモニアや有機物などの分子状汚染(AMC)を取り除くために使われるフィルタはどれか。

  1. AULPAフィルタ
  2. Bケミカルフィルタ(活性炭やイオン交換体を使ったフィルタ)
  3. C金属メッシュのプレフィルタ
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正解：B. ケミカルフィルタ(活性炭やイオン交換体を使ったフィルタ)

ULPAやHEPAのフィルタは粒子をとらえますが、ガス状の分子はすり抜けてしまいます。ケミカルフィルタは活性炭やイオン交換樹脂などを使い、酸やアルカリ、有機物などの分子を吸着・反応させて取り除きます。外気の取り入れ口や、露光装置などの重要な装置に使われます。

  • A. ULPAフィルタは粒子をとらえるもので、ガス状の分子は通してしまいます。
  • B. 正しい。吸着や化学反応で分子状汚染を取り除きます。
  • C. プレフィルタは大きなほこりを取るためのものです。
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