クリーンルーム・製造装置

ISO 14644-1の清浄度クラスについて正しい説明はどれか。

  1. A数字が大きいほど清浄度が高い
  2. B粒子の数ではなく、粒子の重さで決まる
  3. Cクラスの数字Nが1つ小さくなるごとに、許される粒子の数がおよそ10分の1になる
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正解：C. クラスの数字Nが1つ小さくなるごとに、許される粒子の数がおよそ10分の1になる

ISO 14644-1では、ISOクラスNのとき、1 m³あたりの0.1 µm以上の粒子の上限が10のN乗個と定められています(ほかの粒径の上限も式で決まります)。たとえばクラス5は10万個、クラス4は1万個で、数字が小さいほど清浄度が高くなります。

  • A. 数字が小さいほど清浄度が高くなります。
  • B. 粒子の個数濃度で決まります。
  • C. 正しい。1クラスごとに粒子数の上限が10倍変わります。
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