ULPAフィルタとは
うるぱふぃるた
HEPAフィルタよりさらに微細な粒子まで捕集する高性能のエアフィルタ。高い清浄度のクリーンルームの天井に使われる。
この用語の分野: クリーンルーム・製造装置
解説の中の「ULPAフィルタ」
HEPAフィルタやさらに高性能なULPAフィルタは、細かい繊維で空気中の微粒子をとらえるエアフィルタで、クリーンルームの天井などに設置されます。
クリーンルームの空気から微粒子を取り除くために使われる高性能フィルタはどれか。FFUは、送風ファンとHEPA/ULPAフィルタを一体化したユニットで、クリーンルームの天井に多数並べて、清浄な空気を下向きに吹き出します。
天井にフィルタとファンを一体化して並べ、清浄な空気を送り出す装置はどれか。さらに高性能なULPAフィルタは、0.15 µmの粒子に対して99.9995%以上とされます。
HEPAフィルタの性能の一般的な定義として正しいものはどれか。
「ULPAフィルタ」が出てくる問題(3問)
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