FFU(ファンフィルタユニット)とは
えふえふゆー
ファンと高性能フィルタを一体化した装置。クリーンルームの天井に並べて、清浄な空気を下向きに送り出す。
この用語の分野: クリーンルーム・製造装置
えふえふゆー
ファンと高性能フィルタを一体化した装置。クリーンルームの天井に並べて、清浄な空気を下向きに送り出す。
この用語の分野: クリーンルーム・製造装置
FFUは、送風ファンとHEPA/ULPAフィルタを一体化したユニットで、クリーンルームの天井に多数並べて、清浄な空気を下向きに吹き出します。
天井にフィルタとファンを一体化して並べ、清浄な空気を送り出す装置はどれか。外気処理空調機でこれを前処理しておき、室内では循環空気をFFUなどで清浄化しながら細かく温度を調整する、という分担が一般的です。
クリーンルームの空調で、取り入れた外気を除じんし、温度と湿度を調整してから室内の循環空気に供給する装置はどれか。ULPAフィルタ ISO 14644-1 EFEM OHT(天井走行式無人搬送車) ダウンフロー FOUP 分子状汚染(AMC) HEPAフィルタ ミニエンバイロメント