OHT(天井走行式無人搬送車)とは
おーえいちてぃー
天井のレールに沿って走り、FOUPを製造装置の間で自動搬送する装置。300 mmウエハの工場の自動搬送の主役。
この用語の分野: クリーンルーム・製造装置
解説の中の「OHT(天井走行式無人搬送車)」
300 mmウエハを25枚入れた容器(FOUP)は合計で8 kg前後になるため、工場では天井の搬送装置(OHT)で自動搬送されます。
直径300 mm、厚さ775 µmのシリコンウエハ1枚の質量に最も近いものはどれか。(シリコンの密度は約2.33 g/…OHTは天井のレールを走る搬送車で、FOUPを吊り下げて装置のロードポートまで自動で運びます。
300 mmウエハの工場で、FOUPを天井のレールに沿って装置間で自動搬送するシステムはどれか。OHTなどの搬送システムとつながり、生産管理システムの指示で必要なFOUPを払い出します。
半導体工場の自動搬送システムで、次の工程に進むまでのFOUPを一時的に保管する自動倉庫はどれか。
「OHT(天井走行式無人搬送車)」が出てくる問題(4問)
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