什麼是SOI晶圓
在矽基板上隔著埋入氧化層（BOX層）擁有一層薄矽層的晶圓。例如以貼合已植入氫離子的晶圓再剝離的方法製成。寄生電容小，用於FD-SOI與MEMS。
日文名稱: SOIウエハ
「SOI晶圓」出現在1領域的1道練習題中（矽晶圓等）。
這個名詞所屬的領域: 矽晶圓
練習SOI晶圓的題目
下列關於SOI晶圓代表性製造方法的敘述，哪一項是正確的？
- A只要將矽熱氧化就能形成埋入氧化膜
- B把晶圓熔化後使其再結晶
- C將植入氫離子的晶圓貼合到另一片晶圓上，在植入的深度處剝離，留下薄矽層
解析中的「SOI晶圓」
經數百℃的熱處理，植入的氫會形成微小空洞並連成層狀，在該深度處剝離後，就得到氧化膜上留有薄單晶矽層的SOI晶圓。
下列關於SOI晶圓代表性製造方法的敘述，哪一項是正確的？
出現「SOI晶圓」的題目（1題）
出現這個名詞的比較
相關名詞
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