矽光子 矽光子所使用的SOI晶圓中，埋入氧化層（BOX層）的主要作用為何？ A作為位於波導下方的光偵測器的吸收層，吸收通訊波長的光並轉換為電流 B作為使表面矽層產生光的發光層 C作為波導下側的包層，防止光洩漏至矽基板 查看答案與解析 正確答案：C. 作為波導下側的包層，防止光洩漏至矽基板 SOI（Silicon on Insulator）晶圓是在矽基板上依序疊上埋入氧化層（BOX）與薄的單晶矽層的結構。加工上層的矽層（常用厚度220 nm）製作波導，低折射率的BOX則成為下側的包層。BOX太薄時，滲出波導外的光（漸逝光）會洩漏到高折射率的矽基板，因此常使用2～3 µm左右的厚BOX。氧化層的能隙很大，不會吸收光也不會發光。 矽波導的截面（條狀與肋狀） SiO₂（折射率 約1.45） Si（折射率 約3.5） 光場分布 SiO₂包覆層 埋入氧化層（BOX） Si基板 寬 約500 nm 厚 220 nm SiO₂包覆層 埋入氧化層（BOX） Si基板 寬 約500 nm 平板層 條狀波導 肋狀波導 光侷限強，可急彎 經平板層連接電極 矽波導的截面（條狀與肋狀） · 在圖解集中查看 繼續練習矽光子的另外9題