SOIウエハ란?
えすおーあいうえは
シリコン基板の上に埋め込み酸化膜(BOX層)を挟んで薄いシリコン層をもつウエハ。水素イオンを注入したウエハを貼り合わせて剥離する方法などでつくる。寄生容量が小さく、FD-SOIやMEMSに使われる。
일본어 명칭: SOIウエハ
분야: 실리콘 웨이퍼
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관련 용어
結晶方位 酸素析出物(BMD) 偏析係数 CZ法(チョクラルスキー法) DZ(無欠陥層) FZ法(フローティングゾーン法) MCZ法(磁場印加CZ法) インゴット ウエハのノッチ ゲッタリング