乙硼烷或磷化氫等摻雜物用氣體，多半以氫或氮等稀釋成低濃度的狀態供應，其主要理由為下列何者？

正確答案：B. 因為所需的添加量非常少，稀釋後容易精密控制流量，同時可降低毒性與反應性的風險

摻雜物的添加量極為微量，若以純氣體供應，流量太小，無法用質量流量控制器精密控制。事先以氫或氮稀釋到數%～ppm等級，就能以容易處理的流量準確送出所需的量。稀釋後洩漏時的濃度也會降低，可減少毒性或自燃的危險。乙硼烷若為純氣體，在室溫下也會慢慢分解，因此稀釋在穩定性方面也有幫助。

• A. 不是為了改變顏色。
• B. 正確。為了精密控制與安全性而稀釋。
• C. 不是為了使氣味變強。