製程材料(氣體與藥液)
關於用於導入n型雜質的磷化氫(PH3)與砷化氫(AsH3)的特徵,下列何者正確?
- A無害,不需要特別管理
- B毒性非常強,需要嚴格的洩漏管理
- C不可燃且無味,釋放到空氣中也很安全
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正確答案:B. 毒性非常強,需要嚴格的洩漏管理
磷化氫與砷化氫是毒性強到容許濃度在0.05 ppm以下的氣體。要結合鋼瓶櫃、洩漏偵測器、緊急遮斷閥、除害裝置來嚴格管理。為了使其即使洩漏也不易擴散到外部,也廣泛使用讓氣體吸附在多孔性吸附材料上,並以低於大氣壓的壓力供應的容器。它們並非不可燃、無害的氣體,磷化氫還具有可燃性。